精密加工是指加工精度为10~0.微米、表面粗格度在0.1微米以下的加工，常用的加工方法有金刚石车削、金刚石、磨、研磨、砂带磨自和镜面容削等，精密加工在制造业中处于十分重要的地位，常用于精密丝杠、精密齿轮、精密蜗轮、精密导轨和精密轴承等关键零件的加工。

如图所示为蓝宝石圆片通过精密加工工艺制作出的锥形孔，通过KS系列3D数码显微镜进行深度合成拍摄，可对其上下表面的孔径以及孔深进行检测。