MEMS是Micro Electro Mechanical Systems (微机电系统)的缩写，具有微小的立体结构 (三维结构)，是处理各种输入、输出信号的系统的统称是利用微细加工技术，将机械零部件、电子电路传感器、执行机构集成在一块电路板上的高附加值元件。

MEMS具有以下几个基本特点，微型化、智能化、多功能、高集成度和适于大批量生产。MEMS技术的目标是通过系统的微型化、集成化来探索具有新原理、新功能的元件和系统，是一种典型的多学科交叉的前沿性研究领域，几乎涉及到自然及工程科学的所有领域，如电子技术、机械技术、物理学、化学、生物医学、材料科学、能源科学等。

利用KC系列激光光谱共聚焦显微镜可对MEMS芯片表面进行快速扫描成像，KC高达2nm的Z轴分辨率可保证测量的准确性，更专业地检测各种特征尺寸。