纳米压痕技术（Nano-Indentation）是一种新的材料特性测量方法，用于研究微纳零部件的力学性能和材料微纳区域内的局部特性，具有可直接测量和高空间分辨率的优点，并且可以作为分析材料微纳力学性能分布的手段之一。该技术可用于有机或无机、软质或硬质材料的检测分析，包括金属、合金、半导体、玻璃、矿物和有机材料等。

纳米压痕的三微形貌扫描有着重要的意义，KC的高分辨率及卓越材质适应性，可形象直观的研究样品的失效模式，如粘附、开裂、堆积等。