压电纳米显微镜平台

压电纳米显微镜平台

• 行程(mm) 125×80
• 最大速度(mm/sec) 50
• 轴向推力(N) 16
• 最大负载(kg) 2
• 最小步进距离(nm) 50
• 重复定位精度(μm) 0.3
• 位置传感器 光栅尺
• 主体材料 铝合金,阳极氧化
• 几何尺寸(宽深高，mm) 275×295×42
• 重量(kg) 5.07
• RoHS 符合标准