产品详情:
SSC-RGA6500小分子在线质谱仪的主要应用方向,半导体工业、真空镀膜(PVD、CVD)、刻蚀、粒子加速器;CO2还原,程序升温脱附、化学化工、储能材料、硝酸根还原、燃料电池尾气检测、电-光-热催化、汽车尾气分析、电催化合成氨、热分析、固定床、电解水析氢/析氧、扣电-软包等电池产气、光催化水制氢燃料电池研究、发酵微生物呼吸气体监控、人呼吸监控、环境气体分析、地质分析、冶金过程、各种催化过程等等。
在线气体质谱仪与TGA实现联用,能够快速地分析热重测试过程中逸出气体产物;在线质谱仪可与各种催化剂评价装置,反应釜,气相色谱等连用,在线实时检测过程中的气体组成及其含量;在线质谱仪可以与化学吸附仪连用,对程序升温过程中的逸出气体进行定性和定量分析。
产品优势:
1. 进样管加热,可达350℃
2. 易操作界面,10英寸彩色触摸屏,可全面控制仪器运行、采样分析、显示谱图
3. 可烘烤真空室至180℃
4. 可定制版本,如特殊进气系统、特殊外壳
5. 质量范围标配1-200amu;可选1-100amu、、1-300amu
6. 软电离选项(1-100eV)
7. 耗气量低(1-2sccm)
8. 响应快(驻留时间最短1ms/amu)
典型应用:
组分分析
通过质量数判断进样气体组分,得到真空系统中的工业气体的成分和相对浓度信息,分析真空系统的密封性、脱附行为等,便于用户判断真空室及真空组件的状态,如下图中质谱图所示
过程检测/检漏
在设置的质量数范围进行全扫描或选择扫描,长时间对某几类气体进行监控(含报警功能)以观察真空腔体内气体组分浓度随时间的变化,如下图中时间趋势图所示
技术参数及配置:
运行环境
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环境温度
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15-35℃
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相对湿度
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≤85%
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适用电源
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220V(±10%),50Hz(±2%)
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主要性能指标
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★质量范围
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1-200 amu
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进样管
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石英毛细管/不锈钢毛细管
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★毛细管温度
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≥350℃
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腔体加热温度
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≥200℃
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进样管入口压力
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0.5-2.5atm
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进样管长度
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1m/2m
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灵敏度
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2.5E-4A/Pa
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最小可检测分压
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1.25E-10Pa
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质量准确性
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±0.10 amu
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▲仪器最小检测限
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≤100ppb
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检测范围
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100ppb-100%
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▲驻留时间
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1ms – 16s/amu
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▲分辨率@10%峰值高度
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0.5-2amu可调
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扫描方式
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全扫描、选择离子监测
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整机尺寸(长×宽×高)
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655×358×318 mm
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▲重量
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29.3kg
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接口
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以太网LAN×1、USB×1
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离子源
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离子源类型
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开放式离子源
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离子源配置
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双灯丝软件切换
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灯丝电流
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1000μA
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离子化能量
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1-100eV
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灯笼电压
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1-140V
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质量分析器
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★质量分析器
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配备预四极的高精度全金属双曲面四极杆
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四极杆尺寸
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98.5*24.6*6 mm
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检测器
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法拉第杯和电子倍增器,对低浓度物质使用法拉第杯检测器,高浓度使用电子倍增器测定
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真空系统
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前级泵
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无油隔膜泵,抽速≥0.6 m³/h
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▲配置高性能涡轮分子泵,抽速≥67L/s
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软件工作站
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★质谱仪全中文一体化控制软件工作站
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实时监控
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可设置监测离子物质,设置监测强度阈值,超过一定分压即实时查看到超标物质并打开蜂鸣器
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对质谱图中不同质量数进行元素定性功能
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化合物定量MCD采集功能
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通过加载已知组分含量的标准气体,再新的样品后可以得到对应化合物浓度
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售后服务:
1. 安装、校准与试运行:仪器制造厂授权技术员在买方用户现场免费安装调试,技术指标合格。
2. 培训:提供技术服务,现场培训内容(包括仪器基本原理、操作使用及日常保养维修等),培训工作直至技术人员能独立操作为止。
3. 质保与维修:仪器厂商提供1年的免费保修服务。
4. 技术资料:提供仪器设备的安装、操作手册、维修保养手册等技术文件,及产品合格证、质量保证书和产品软件等全套资料。