小分子在线质谱仪

SSC-RGA6500
SSC-001211

产品详情:

SSC-RGA6500小分子在线质谱仪的主要应用方向,半导体工业、真空镀膜(PVDCVD)、刻蚀、粒子加速器;CO2还原,程序升温脱附、化学化工、储能材料、硝酸根还原、燃料电池尾气检测、电--热催化、汽车尾气分析、电催化合成氨、热分析、固定床、电解水析氢/析氧、扣电-软包等电池产气、光催化水制氢燃料电池研究、发酵微生物呼吸气体监控、人呼吸监控、环境气体分析、地质分析、冶金过程、各种催化过程等等。

在线气体质谱仪与TGA实现联用,能够快速地分析热重测试过程中逸出气体产物;在线质谱仪可与各种催化剂评价装置,反应釜,气相色谱等连用,在线实时检测过程中的气体组成及其含量;在线质谱仪可以与化学吸附仪连用,对程序升温过程中的逸出气体进行定性和定量分析。

产品优势:

1.   进样管加热,可达350

2.   易操作界面,10英寸彩色触摸屏,可全面控制仪器运行、采样分析、显示谱图

3.   可烘烤真空室至180

4.   可定制版本,如特殊进气系统、特殊外壳

5.   质量范围标配1-200amu;可选1-100amu、、1-300amu

6.   软电离选项(1-100eV)

7.   耗气量低(1-2sccm)

8.   响应快(驻留时间最短1ms/amu)

典型应用:

组分分析

  通过质量数判断进样气体组分,得到真空系统中的工业气体的成分和相对浓度信息,分析真空系统的密封性、脱附行为等,便于用户判断真空室及真空组件的状态,如下图中质谱图所示

过程检测/检漏

  在设置的质量数范围进行全扫描或选择扫描,长时间对某几类气体进行监控(含报警功能)以观察真空腔体内气体组分浓度随时间的变化,如下图中时间趋势图所示

 

技术参数及配置:

运行环境

环境温度

15-35

相对湿度

85%

适用电源

220V(±10%),50Hz(±2%)

主要性能指标

 

★质量范围

1-200 amu

进样管

石英毛细管/不锈钢毛细管

★毛细管温度

350

腔体加热温度

200℃

进样管入口压力

0.5-2.5atm

进样管长度

1m/2m

灵敏度

2.5E-4A/Pa

最小可检测分压

1.25E-10Pa

质量准确性

±0.10 amu

▲仪器最小检测限

100ppb

检测范围

100ppb-100%

▲驻留时间

1ms – 16s/amu

▲分辨率@10%峰值高度

0.5-2amu可调

扫描方式

全扫描、选择离子监测

整机尺寸(长×宽×高)

655×358×318 mm

▲重量

29.3kg

接口

以太网LAN×1USB×1

离子源

 

离子源类型

开放式离子源

离子源配置

双灯丝软件切换

灯丝电流

1000μA

离子化能量

1-100eV

灯笼电压

1-140V

质量分析器

★质量分析器

配备预四极的高精度全金属双曲面四极杆

四极杆尺寸

98.5*24.6*6 mm

检测器

法拉第杯和电子倍增器,对低浓度物质使用法拉第杯检测器,高浓度使用电子倍增器测定

真空系统

前级泵

无油隔膜泵,抽速≥0.6 m³/h

▲配置高性能涡轮分子泵,抽速≥67L/s

软件工作站

★质谱仪全中文一体化控制软件工作站

实时监控

可设置监测离子物质,设置监测强度阈值,超过一定分压即实时查看到超标物质并打开蜂鸣器

对质谱图中不同质量数进行元素定性功能

化合物定量MCD采集功能

通过加载已知组分含量的标准气体,再新的样品后可以得到对应化合物浓度

售后服务:

1.    安装、校准与试运行:仪器制造厂授权技术员在买方用户现场免费安装调试,技术指标合格。

2.    培训:提供技术服务,现场培训内容(包括仪器基本原理、操作使用及日常保养维修等),培训工作直至技术人员能独立操作为止。

3.    质保与维修:仪器厂商提供1年的免费保修服务。

4. 技术资料:提供仪器设备的安装、操作手册、维修保养手册等技术文件,及产品合格证、质量保证书和产品软件等全套资料。

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SSC-001211 小分子在线质谱仪 SSC-RGA6500 在线质谱仪可以与化学吸附仪连用,对程序升温过程中的逸出气体进行定性和定量分析。
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