D07-7B质量流量控制器流量计

类型

D07-7B  型

流量规格

(0~5,10,20,30,50,100,200,300,500)    SCCM        （0~1,2,3,5,10）SLM

精准度

±1.5  % F.S

线性

±1 % F.S

重复精度

±0.2  %F.S

响应时间

电特性: 10 sec;             
  气特性:  ≤ 4  sec

工作压差范围

(0.1 ~ 0.5)  MPa

温度系数

 -

最大工作压力

1  MPa

耐压

3  MPa

工作环境温度

5 ℃ ~ 45 ℃

输入输出信号

0 V ~ +5.00 V (输入阻抗大于100K, 输出电流不大于3mA)

电源

+15 V   50 mA   -15V    200 mA;

重量

1.1  kg