D07-19B质量流量控制器流量计

类型

D07-19B

流量规格

( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500)    SCCM
  ( 0~1,2,3,5,10,20,30)SLM

精准度

±1 % F.S (20,30SLM: ±2 % F.S)

线性

±0.5 % F.S (20,30SLM: ±2 % F.S)

重复精度

±0.2  %F.S

响应时间

≤2 sec

工作压差范围

≤10SLM  (0.2 ~   0.8)  MPa  (14.5~72.5 psid)
  ＞10SLM  (0.2 ~ 0.6)  MPa  (14.5~43.5 psid)

最大工作压力

1 MPa

工作环境温度

5 ℃ ~ 45 ℃

输入输出信号

0 V ~ +5.00 V (输入阻抗大于100K, 输出电流不大于3mA)

耐压

3 MPa (435.1 psig)

电源

+15 V   50 mA   -15V    200 mA;

重量

0.95 kg